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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻机投影物镜波像差在线检测关键技术研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1刘克,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/10/18 光刻投影物镜  波像差  光学干涉测量  相移点衍射干涉仪  干涉图像处理 lithographic projection optics  wavefront error  optical measurement  phase-shifting point diffraction interferometer  interferogram analysis   ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2005 1黄国胜,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2010/10/18 ArF浸没式光刻  软件开发  下一代光刻 MicroCruiser  ArF Immersion lithography  Software Development  Next Generation Lithography