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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fast surface profilometry utilizing structured illumination microscopy based on the time-domain phase-shift technique 期刊论文 Applied Optics, 2019, 卷号: 58, 期号: 30, 页码: 8180-8186 作者:  Liu, Lei;  Tang, Yan;  Xie, Zhongye;  Feng, Jinhua;  He, Yu 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2021/05/06 Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography 期刊论文 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 3 作者:  Di, Chengliang;  Hu, Song;  Yan, Wei;  Li, Yanli;  Li, Guang 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/07/10 Interferometry  metrology  fringe analysis  phase unwrapping  lithography   Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography 期刊论文 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 3 作者:  Di, Chengliang;  Hu, Song;  Yan, Wei;  Li, Yanli;  Li, Guang 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/23 Positioning scheme based on grating modulation and phase imaging in lithography 会议论文 Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2010 作者:  Shaolin Zhou;  Feng Xu;  Song Hu;  Xiaoping Tang 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/24