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光电技术研究所 [7]
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2016 [1]
2015 [2]
2013 [1]
2009 [1]
2008 [1]
2006 [1]
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接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
张伟
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/12/30
表面等离子体光刻,衍射极限,工作距,离轴照明,贝塞尔光束,双曲色散超材料
偏振性能测试方法研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
侯梦晗
收藏
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浏览/下载:69/0
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提交时间:2015/07/30
浸没式光刻
Stokes 参量
偏振测量
旋转1/4 波片
误差校准
基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111
作者:
邢莎莎
;
冉英华
;
江海波
;
邢廷文
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2016/11/01
成像系统
照明模式变换
自由照明光瞳
微反射镜阵列
光束整形
非球面复眼
基于干涉的同轴检焦新方法
期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 12, 页码: 186-190
作者:
李光
;
朱江平
;
陈铭勇
;
赵立新
;
胡松
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2016/11/23
测量
同轴检焦
干涉
傅里叶变换
离焦量
激光投影系统中的均匀照明研究
学位论文
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
廖志杰
收藏
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浏览/下载:107/0
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提交时间:2013/11/19
柯拉照明
离轴照明
光棒
光学混合器
光学均匀器
复眼
偏振
散斑
位相板
激光显示
传统光学光刻的极限及下一代光刻技术
期刊论文
微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 361-365+369
蒋文波
;
胡松
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2015/05/18
百纳米级微细图形投影光学光刻偏振成像原理及方法研究
学位论文
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
余国彬
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2013/11/19
投影光学光刻
超大数值孔径
偏振成像
偏振成像控制
分辨力
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