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接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张伟
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2016/12/30
偏振性能测试方法研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  侯梦晗
收藏  |  浏览/下载:69/0  |  提交时间:2015/07/30
基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111
作者:  邢莎莎;  冉英华;  江海波;  邢廷文
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2016/11/01
基于干涉的同轴检焦新方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 12, 页码: 186-190
作者:  李光;  朱江平;  陈铭勇;  赵立新;  胡松
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2016/11/23
激光投影系统中的均匀照明研究 学位论文
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
廖志杰
收藏  |  浏览/下载:107/0  |  提交时间:2013/11/19
传统光学光刻的极限及下一代光刻技术 期刊论文
微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 361-365+369
蒋文波; 胡松
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2015/05/18
百纳米级微细图形投影光学光刻偏振成像原理及方法研究 学位论文
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
余国彬
收藏  |  浏览/下载:36/0  |  提交时间:2013/11/19


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