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光电技术研究所 [4]
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2019 [1]
2015 [2]
2008 [1]
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NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化
期刊论文
应用光学, 2019, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 575-582
作者:
李杰[1,2]
;
林妩媚[1]
;
廖志杰[1]
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2021/05/06
光学设计
偏振像差
薄膜光学
Jones光瞳
成像对比度
偏振性能测试方法研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
侯梦晗
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浏览/下载:69/0
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提交时间:2015/07/30
浸没式光刻
Stokes 参量
偏振测量
旋转1/4 波片
误差校准
信标及波前探测模式对自适应光学系统控制性能的影响
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 24-31
作者:
罗奇
;
李新阳
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提交时间:2016/11/15
大气光学
自适应光学
系统带宽
波前探测
系统建模
一种基于CCD多电极结构的电子像移补偿方法
期刊论文
光电子.激光, 2008, 卷号: 19, 期号: 7, 页码: 947-951
刘光林
;
杨世洪
;
吴钦章
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提交时间:2015/05/18
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