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水平冷壁CVD生长4H-SiC同质外延膜 期刊论文
半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 935-940
作者:  高欣;  孙国胜;  李晋闽;  赵万顺;  王雷
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