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| 容性耦合氢等离子体放电中电磁效应与电非对称效应的流体力学模拟 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 胡艳婷
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| 大气压空气沿面介质阻挡放电均匀性分析 期刊论文
低温物理学报, 2018, 页码: 9-13
作者: 刘欣妮; 梁环宇; 齐志华; 王翔; 季龙飞
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| 一种提高工艺等离子体均匀性的电极 专利
申请日期: 2018-01-01, 公开日期: 2018-10-19
作者: 刘永新; 赵凯; 张莹莹; 王友年
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| 相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响 期刊论文
物理学报, 2018, 卷号: 67, 页码: 288-300
作者: 胡艳婷; 张钰如; 宋远红; 王友年
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| 双频容性耦合Ar放电驻波效应实验研究:低频源的影响 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 赵凯; 李永新; 王友年
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| 甚高频大面积容性放电中电磁效应的实验研究 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 韩道满; 高飞; 刘永新; 徐军; 王友年
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| 测量真空离子镀和等离子体喷涂镀膜膜厚与均匀性的设备 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2018-06-12
作者: 赵栋烨; 牟宗信; 王奇; 丁洪斌
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| 甚高频放电中电磁效应与电非对称效应对径向均匀性的影响 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 胡艳婷; 张钰如; 王友年
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| 二维流体模拟SiH_4/N_2/O_2放电中均匀性改善和前驱物的研究 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 贾文柱
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| 测量真空离子镀和等离子体喷涂镀膜膜厚与均匀性的方法 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2017-09-29
作者: 赵栋烨; 牟宗信; 王奇; 丁洪斌
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