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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文 中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006 作者:  李杰;  唐锋;  王向朝;  戴凤钊;  冯鹏 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/28 测量  光栅横向剪切干涉  系统误差  Zernike多项式  光刻投影物镜   光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文 中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006 作者:  李杰;  唐锋;  王向朝;  戴凤钊;  冯鹏 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/25 测量  光栅横向剪切干涉  系统误差  Zernike多项式  光刻投影物镜   光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文 中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006 作者:  李杰;  唐锋;  王向朝;  戴凤钊;  冯鹏 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2016/11/28 测量  光栅横向剪切干涉  系统误差  Zernike多项式  光刻投影物镜   因瓦水准尺自动检测系统的研究 期刊论文 1990, 卷号: 19, 页码: 130 作者:  李信;  赵念念;  郭俊杰;  郭彦珍 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/12/25 水准尺  自动检测系统  瞄准器  双频激光干涉仪  瞄准光学系统  光电接收器  测量精度  差分信号  理论分析  分划   测量温度场分布的激光散斑照相计量术 期刊论文 实验力学, 1988, 卷号: 3, 期号: 2, 页码: 104-108 作者:  束继祖 收藏  |  浏览/下载：952/115  |  提交时间：2009/08/03 激光散斑照相  激光散斑纹影干涉系统   单渥拉斯顿稜镜激光差分干涉仪 期刊论文 力学与实践, 1982, 卷号: 4, 期号: 4, 页码: 44-49 作者:  束继祖;  胡金铭 收藏  |  浏览/下载：784/32  |  提交时间：2009/08/03 棱镜  偏振片  反射镜  条纹宽度  激光差分干涉仪  空间相干性  平面偏振光  干涉图  光学元件