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一种基于静电排斥力的纵向微驱动器研究 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=CGJS200606077&dbname=CJFQ2006, 2012, 2012
乔大勇; 苑伟政; 马志波; 李开成; 李晓莹
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2017/06/19
静电梳齿驱动结构的稳定性分析 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=CGJS201108009&dbname=CJFQ2011, 2012, 2012
张峰; 苑伟政; 常洪龙; 丁继亮; 谢建兵
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2017/06/19
基于MEMS微镜的可调光学衰减器 期刊论文
光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291
刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载:47/0  |  提交时间:2013/02/22
无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781
翟雷应; 徐静; 钟少龙; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2013/02/22
基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器 期刊论文
光电子.激光, 2012, 期号: 9, 页码: 1635-1643
翟雷应; 徐静; 吴亚明; 刘闯; 雷洪波; 陶大勇
收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2013/02/22
一种高精度MEMS梳齿驱动器有限元仿真方法及实验 期刊论文
图学学报, 2012, 卷号: 33, 页码: 65-68
作者:  郭占社;  曹乐;  赵鑫;  樊尚春
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2020/01/06
基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 期号: 03
肖育华; 宋朝辉; 戈肖鸿; 车录锋
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/04/13
基于Si塑性变形的二维驱动器的设计 期刊论文
半导体技术, 2011, 期号: 08
陈琳; 李伟; 戈肖鸿; 车录锋
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2012/04/13
三维微型梳齿的静电结构耦合特性研究 期刊论文
2010, 2010
朱毅; 郭丹; Zhu Yi; Guo Dan
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基于单晶硅材料的微摩擦测试机构及其试验研究 期刊论文
2010, 2010
郭占社; 孟永钢; 吴昊; 苏才钧; 温诗铸; GUO Zhan-she; MENG Yong-gang; WU Hao; SU Cai-jun; WEN Shi-zhu
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