QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication and characterisation of polysilicon-based clamped-clamped filter 期刊论文 key engineering materials, 2011, 卷号: 483, 页码: 112-116 Zhao, Yongmei; Ning, Jin; Han, Guowei; Si, Chaowei 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/06/14 Electromechanical filters  Fabrication  Microelectromechanical devices  Nanotechnology  Polysilicon  Resonators  Technology   An Effective Approach for Restraining Galvanic Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hydrofluoric-Acid-Based Solutions 期刊论文 journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 470-475 Liu YF; Xie J; Zhang ML; Yang JL; Yang FH 收藏  |  浏览/下载：52/1  |  提交时间：2011/07/06 Galvanic corrosion  polysilicon  resistivity  titanium (Ti) redox sacrificial layer  POLYSILICON  OXIDATION   Study of GaN epilayers growth on freestanding Si cantilevers 期刊论文 solid-state electronics, 2010, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 4-7 Chen J; Wang X; Wu AM; Zhang B; Wang X; Wu YX; Zhu JJ; Yang H 收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2010/04/04 FABRICATION  SILICON  MEMS  NITRIDE   Doped polycrystalline 3C-SiC films deposited by LPCVD for radio-frequency MEMS applications 期刊论文 chinese physics letters, 2008, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 2269-2272 Zhao, YM; Sun, GS; Ning, J; Liu, XF; Zhao, WS; Wang, L; Li, JM 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2010/03/08 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION   A novel implantable multichannel silicon-based microelectrode 期刊论文 chinese physics, 2007, 卷号: 16, 期号: 7, 页码: 2116-2119 Sui XH (Sui Xiao-Hong); Zhang RX (Zhang Ruo-Xin); Pei WH (Pei Wei-Hua); Chen HD (Chen Hong-Da) 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2010/03/29 MEMS