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半导体研究所 [9]
内容类型
期刊论文 [9]
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内容类型：期刊论文
专题：半导体研究所
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二维GaAs基光子晶体微腔的制作与光谱特性分析
期刊论文
物理学报, 2010, 卷号: 59, 期号: 10, 页码: 7073-7077
作者:
徐波
;
彭银生
;
梁松
;
叶小玲
;
杨晓红
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浏览/下载：18/0
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提交时间：2011/08/16
用PAA模板法实现硅基纳米孔阵列结构
期刊论文
物理学报, 2009, 卷号: 58, 期号: 7, 页码: 4997-5001
作者:
苏少坚
;
白安琪
;
胡炜玄
;
樊中朝
;
成步文
收藏
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浏览/下载：11/0
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提交时间：2010/11/23
感应耦合等离子体刻蚀InP／InGaAsP二维光子晶体结构的研究
期刊论文
物理学报, 2007, 卷号: 56, 期号: 2, 页码: 977-981
作者:
陈良惠
;
樊中朝
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浏览/下载：4/0
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提交时间：2010/11/23
半导体量子阱材料微加工光子晶体的光学特性
期刊论文
物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 3, 页码: 1248-1252
作者:
许兴胜
收藏
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浏览/下载：12/0
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提交时间：2010/11/23
二维光子晶体微加工方法的研究与进展
期刊论文
科学通报, 2006, 卷号: 51, 期号: 20, 页码: 2337-2346
作者:
许兴胜
收藏
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浏览/下载：92/15
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提交时间：2010/11/23
热氧化方法改善硅干法刻蚀波导的表面粗糙度
期刊论文
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 11, 页码: 1544-1548
作者:
樊中朝
收藏
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浏览/下载：71/0
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提交时间：2010/11/23
MOCVD生长InGaAs/InGaAsP多量子阱光泵微碟激光器
期刊论文
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 1057
吴根柱
;
张子莹
;
任大翠
;
张兴德
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浏览/下载：22/0
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提交时间：2010/11/23
反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究
期刊论文
功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 420
陆建祖
;
魏红振
;
李玉鉴
;
张永刚
;
林世鸣
;
余金中
;
刘忠立
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浏览/下载：12/0
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提交时间：2010/11/23
干法刻蚀Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料的最新进展
期刊论文
科学通报, 1989, 卷号: 34, 期号: 22, 页码: 1681
作者:
朱洪亮
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浏览/下载：16/0
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提交时间：2010/11/23
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