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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文 中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264 作者:  戴岑;  巩岩;  张昊;  李佃蒙;  薛金来 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/09/17 共焦显微  微分干涉差  标量衍射  膜层结构  缺陷探测   光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142 代晓珂; 金春水; 王丽萍; 于杰 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/04/17 光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制   点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862 代晓珂; 金春水; 于杰 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/04/17 光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析   双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 期刊论文 红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2015/04/17 装调技术  双光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  光学检测   高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140 王辉; 于杰; 周烽; 王丽萍 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/03/11 测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑