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| 熔融先驱体法制备连续SiC自由薄膜及其结构与发光特性研究 学位论文 2011, 2010 姚荣迁 收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2016/02/14
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| 电容式微陀螺专用集成接口电路研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009 李金鹏 收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 微系统中的电化学微加工技术——约束刻蚀剂层技术研究 学位论文 2008, 2001 孙建军 收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2016/02/14
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| 基于MEMS的光纤加速度计的研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008 曾凡林 收藏  |  浏览/下载:173/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 自呼吸式硅微机械微质子交换膜燃料电池关键技术研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008 郑丹 收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 低张力振动膜硅微电容传声器的研究 学位论文 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2007 张晓辉 收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2011/05/07
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| 基于MEMS技术的光纤声传感器研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007 许晓昕 收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 硅微机械加速度开关技术研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007 贾孟军 收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 免疫磁珠微流控分析系统的构建和应用研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007 王聿佶 收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 许晓昕 收藏  |  浏览/下载:47/0  |  提交时间:2012/03/06
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