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| 高精度离轴非球面CCOS加工关键技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 赵璇
  收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 简化模式方法在倾斜光栅中的应用 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 李树斌
收藏 | 浏览/下载：75/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 杨朝兴
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于OPA的中红外超短激光脉冲产生及测量技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 陈运
收藏 | 浏览/下载：49/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 方伟
收藏 | 浏览/下载：121/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 冷原子物理用光纤激光技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 胡金萌
收藏 | 浏览/下载：52/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 吴飞斌
收藏 | 浏览/下载：78/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 李永
收藏 | 浏览/下载：78/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 高精度非球面数控加工工艺研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 张逸中
收藏 | 浏览/下载：36/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 气溶胶粒子形状识别技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 卜一川
收藏 | 浏览/下载：105/0 | 提交时间：2016/11/28
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