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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 周晓峰 收藏  |  浏览/下载：120/0  |  提交时间：2013/04/24 微电子机械系统  加速度传感器  地震检波器  腐蚀自停止   三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 蔡梅妮 收藏  |  浏览/下载：145/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器  吸气剂  器件级真空封装  Q  自停止腐蚀   SOI衬底上SiGe HBT材料与器件研究 学位论文 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009 陈超 收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘层上硅(SOI)  含有硅化物埋层的SOI材料  SiGe HBT  三维电路   基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008 肖飞 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  加速度传感器  自停止腐蚀  硅-硅键合   基于自停止腐蚀的双面梁—质量块结构加速度传感器研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 肖飞   收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  加速度传感器  自停止腐蚀  硅-硅键合     基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 陆荣   收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/03/06 亚微米梁  自停止腐蚀  电化学腐蚀  原电池     MEMS器件的设计、模拟与测试 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2001 车录锋 收藏  |  浏览/下载：74/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  压力传感器  加速度传感器  微机械陀螺  静电致动器  有限元模型  等效电路模型  机械耦合