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上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2006 [1]
2005 [2]
2004 [1]
2003 [1]
学科主题
Physics, A... [5]
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学科主题:Physics, Applied
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Characteristics of HfxSiyO films grown on Si0.8Ge0.2 layer by electron-beam evaporation
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006, 卷号: 88, 期号: 12, 页码: 122906-122906
Cheng, XH
;
Song, ZR
;
Yu, YY
;
Yang, WW
;
Shen, DS
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/24
GATE DIELECTRICS
HFO2
OXIDATION
SILICON
Germanium movement mechanism in SiGe-on-insulator fabricated by modified Ge condensation
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2005, 卷号: 97, 期号: 6, 页码: 64504-64504
Di, ZF
;
Chu, PK
;
Zhang, M
;
Liu, WL
;
Song, ZT
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/03/24
FIELD-EFFECT TRANSISTORS
STRAINED-SI
MOBILITY ENHANCEMENT
OXIDATION
ELECTRON
Self-organized Ge nanocrystals embedded in HfAlO fabricated by pulsed-laser deposition and application to floating gate memory
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2005, 卷号: 86, 期号: 1, 页码: 13110-13110
Liu, WL
;
Lee, PF
;
Dai, JY
;
Wang, J
;
Chan, HLW
;
Choy, CL
;
Song, ZT
;
Feng, SL
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
DEVICE
HFO2
DIELECTRICS
OXIDATION
SIO2
Comparative study of SOI/Si hybrid substrates fabricated using high-dose and low-dose oxygen implantation
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2004, 卷号: 37, 期号: 13, 页码: 1732-1735
Dong, YM
;
Chen, M
;
Chen, J
;
Wang, X
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
BURIED OXIDE LAYERS
ION-IMPLANTATION
SILICON
OXIDATION
Structural and electrical characteristics of Ge nanoclusters embedded in Al2O3 gate dielectric
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 82, 期号: 26, 页码: 4708-4710
Wan, Q
;
Lin, CL
;
Liu, WL
;
Wang, TH
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
SI NANOCRYSTALS
SILICON-NITRIDE
LAYERS
PHOTOLUMINESCENCE
DEPOSITION
OXIDATION
EMISSION
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