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科研机构
上海光学精密机械研... [65]
内容类型
期刊论文 [65]
发表日期
2008 [11]
2007 [14]
2006 [18]
2005 [22]
学科主题
光学薄膜 [65]
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学科主题:光学薄膜
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65
70
75
80
85
90
95
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HfO2的纯度对紫外多层膜反射率的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 222, 224
袁景梅
;
齐红基
;
赵元安
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1135/161
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Glow discharge mass spectrum
紫外膜
Ultraviolet multilayer
ZrO2
HfO2
光学性能
三种不同后处理方式对ZrO_2薄膜性能的影响
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 10, 页码: 1600, 1604
王聪娟
;
晋云霞
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1127/124
  |  
提交时间:2009/09/22
薄膜
Damage thresholds
氧化锆
Electron beam evaporations
抗激光损伤阈值
Pretreatment
退火
Single layers
激光预处理
Treatment methods
离子后处理
基于平板夹具的电子束蒸发沉积薄膜中的挖坑效应分析
期刊论文
真空, 2008, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 12, 16
夏志林
;
赵元安
;
黄才华
;
薛亦渝
;
杨芳芳
;
郭培涛
收藏
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浏览/下载:1127/184
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提交时间:2009/09/22
SiO_2薄膜折射率的准确拟合分析
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 760, 763
王胭脂
;
张伟丽
;
范正修
;
黄建兵
;
晋云霞
;
姚建可
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1271/128
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提交时间:2009/09/22
词薄膜
SiO2折射率
包络法
准确拟合
Accurately fitting
Envelop method
Optical-
Refractive index of SiO
2
Thin films
电子束蒸发镀膜速率控制
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 10, 页码: 1591, 1594
王善成
;
方明
;
易葵
;
邵淑英
;
范正修
收藏
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浏览/下载:877/189
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提交时间:2009/09/22
薄膜
薄膜工艺
速率控制
比列积分微分控制
Basic principles
Closed-loop controls
Control parameters
Evaporation characteristics
Film process
Improved processes
Proportion integral differential
Rate control
Rate controls
355nm增透膜的设计、制备与性能
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 2026, 2030
余华
;
崔云
;
申雁鸣
;
齐红基
;
易葵
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1091/182
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提交时间:2009/09/22
薄膜
增透膜
热舟蒸发
真空退火
激光损伤阈值
355 nm lasers
Damage morphologies
Electric-field
In vacuums
Laser damage resistances
Laser induce damage threshold
Masking technologies
Spectrum stabilities
Substrate interfaces
Surface conditions
Thermal boat evaporation
Vacuum annealing
单脉冲飞秒脉冲激光对单层和高反光学薄膜的损伤
期刊论文
光子学报, 2008, 卷号: 37, 期号: 3, 页码: 417, 420
袁磊
;
赵元安
;
贺洪波
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:690/133
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提交时间:2009/09/22
飞秒激光
Electron beam evaporation
激光诱导损伤
Femtosecond pulse
单层膜
High reflective coating
高反膜
Laser induced damage
离化作用
Single layer
4H-SiC基底Al_2O_3/SiO_2双层减反射膜的设计和制备
期刊论文
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 12, 页码: 2431, 2435
黄火林
;
张峰
;
吴正云
;
齐红基
;
姚建可
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1114/176
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提交时间:2009/09/22
薄膜光学
Al2O3/SiO2双层减反射膜
电子束蒸发
4H-SiC基底
折射率
4H-SiC substrate
Al
2
O
3
/SiO
2
double-layer anti-reflection coatings
Deposited layers
Electron beam evaporation
Layer coatings
Layer thicknesses
Physical thicknesses
Reference wavelengths
Reflection spectrums
Scanning electron microscopes
SEM images
Single layers
Thin film optics
UV optoelectronic devices
Wavelength selectivities
沉积温度对氧化钇稳定氧化锆薄膜残余应力的影响
期刊论文
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 1007, 1011
肖祁陵
;
贺洪波
;
邵淑英
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:700/128
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提交时间:2009/09/22
薄膜光学
残余应力
氧化钇稳定氧化锆薄膜
沉积温度
Deposition temperature
Residual stress
Thin film optics
Yttria-stabilized zirconia thin films
Yttrial-stabilized zirconia films
基底温度对直流磁控溅射ITO透明导电薄膜性能的影响
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 2031, 2035
曾维强
;
姚建可
;
贺洪波
;
邵建达
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浏览/下载:1224/160
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提交时间:2009/09/22
薄膜
ITO透明导电膜
基底温度
直流磁控溅射
Crystal grain sizes
Direct current magnetron sputtering
Direct currents
Glass substrates
Indium oxides
Interplanar spacings
ITO transparent conductive thin films
Mass fractions
Substrate temperature
X-ray diffractions
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