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上海光学精密机械研究... [3]
光电技术研究所 [1]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [5]
发表日期
2016 [1]
2001 [1]
学科主题
光学工程 [5]
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学科主题:光学工程
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快速高精度望远镜调焦系统设计
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
许晓亮
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/12/29
望远镜,测距调焦,离轴系统,速度补偿,电机控制
全自动光学谐振腔稳定调节系统的可行性研究
学位论文
硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2001
胡亚红
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2011/10/09
光学谐振腔
图象处理
光斑偏移
边缘检测
曲线拟合
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
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浏览/下载:120/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
桌面式无掩膜光刻系统的研制
学位论文
作者:
梁鑫
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浏览/下载:60/0
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提交时间:2018/12/26
桌面式光刻系统
Maskless lithography
小孔检焦系统
automatic tracking
自动跟踪系统
flatness measurement
运动平整度检测
大尺寸全息光栅曝光系统及条纹锁定系统
学位论文
作者:
张栋
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2018/12/26
全息光栅
holographic grating
干涉条纹
interference fringe
相位锁定
phase locking
光栅周期
grating period
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