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上海光学精密机械研究... [6]
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学位论文 [6]
学科主题
光学工程 [6]
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学科主题:光学工程
专题:上海光学精密机械研究所
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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
收藏
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浏览/下载:266/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
大口径超短脉冲时空特性分析测量与信噪比提升
学位论文
作者:
朱坪
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2018/12/26
超短脉冲,时间信噪比,大口径激光系统,时空耦合,时空测量
ultrashort pulse, temporal contrast, large diameter laser system, spatiotemporal coupling, spatiotemporal measurement
基于多程位相调制的新型光谱控制技术研究
学位论文
作者:
李玉荣
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2018/12/26
光纤光学
fiber optics
啁啾脉冲放大
chirped pulse amplification
光谱控制
spectrum control
任意波形发生器
high-speed arbitrary waveform generator
位相调制
phase modulation
甚多束阵列式激光放大技术研究
学位论文
作者:
陈亚林
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2018/12/26
惯性聚变能源
Inertial fusion energy
高效重频固体激光驱动器
High efficiency and high energy solid-state laser driver
甚多束阵列式激光放大模块
Multi-beam array laser amplifier
光束传输
Beam propagation
热效应
Thermal effect
DKDP晶体光学特性及频率转换技术研究
学位论文
作者:
崔子健
收藏
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浏览/下载:62/0
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提交时间:2018/12/26
非线性光学,频率转换,电光效应,温度不敏感,电压调谐相位匹配
Nonlinear optics, Frequency conversion, Electro-optic effect, Temperature insensitive, Voltage-tuning phase matching
高功率激光光束质量提升关键因素研究
学位论文
作者:
雷泽民
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2018/12/26
光束质量
beam quality
光束传输模拟
light propagation simulation
光学元件面形
optical component surface
连续相位板
continuous phase plate
集束聚焦
beam array focus
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