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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2016     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1 作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2017/09/17 成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦   基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  方伟 收藏  |  浏览/下载：124/0  |  提交时间：2016/11/28 Ptychography  PIE  相位恢复  波像差  光刻投影物镜  极紫外光刻