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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2015    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  吴飞斌 收藏  |  浏览/下载：81/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻投影物镜  1xnm节点  波像差原位检测  Ronchi剪切干涉仪  相位提取   Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 612004 作者:  吴飞斌;  唐锋;  王向朝;  李杰;  李永 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/28 Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究 期刊论文 中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 3, 页码: 308008 作者:  吴飞斌;  唐锋;  王向朝;  李杰;  李思坤 收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2016/11/28