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沉积温度对温度梯度法制备氮化硼薄膜结构和硬度的影响(英文) 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2015, 卷号: 44, 页码: 1108-1111
作者:  王明娥;  巩水利;  马国佳;  刘星;  张林
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