| 沉积温度对温度梯度法制备氮化硼薄膜结构和硬度的影响（英文） | |
| 王明娥; 巩水利; 马国佳; 刘星; 张林; 王达望; 陆文琪; 董闯 | |
| 刊名 | 稀有金属材料与工程
 |
| 2015 | |
| 卷号 | 44页码:1108-1111 |
| 关键词 | 氮化硼薄膜 溅射 温度梯度法 硬度 |
| ISSN号 | 1002-185X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4406468 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学 2.北京航空工业制造研究所高能束流加工技术国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王明娥,巩水利,马国佳,等. 沉积温度对温度梯度法制备氮化硼薄膜结构和硬度的影响（英文）[J]. 稀有金属材料与工程,2015,44:1108-1111. |
| APA | 王明娥.,巩水利.,马国佳.,刘星.,张林.,...&董闯.(2015).沉积温度对温度梯度法制备氮化硼薄膜结构和硬度的影响（英文）.稀有金属材料与工程,44,1108-1111. |
| MLA | 王明娥,et al."沉积温度对温度梯度法制备氮化硼薄膜结构和硬度的影响（英文）".稀有金属材料与工程 44(2015):1108-1111. |
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