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科研机构
沈阳自动化研究所 [2]
兰州理工大学 [1]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2013 [3]
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发表日期:2013
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半导体设备前端模块关键技术的研究与应用
学位论文
硕士: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
褚金钱
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提交时间:2013/08/19
装载端口
预对准
坐标系标定
基于连杆理论的装载端口开门机构设计与运动学仿真
期刊论文
中国机械工程, 2013, 卷号: 24, 期号: 17, 页码: 2362-2367
褚金钱
;
徐方
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提交时间:2013/12/26
装载端口
仿真模型
平面连杆机构
运动学
无油润滑双涡圈涡旋压缩机动力特性研究
学位论文
2013
作者:
赵嫚
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提交时间:2020/11/05
涡旋压缩机
无油润滑
双涡圈
转子平衡
动力特性
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