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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Finite-Time Stabilization of a Comb-Drive Electrostatic Microactuator 期刊论文 ieee asme transactions on mechatronics, 2012 He, Guangping; Geng, Zhiyong 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12 Comb electrostatic microactuators  dynamics  finite-time control  microelectromechanical system (MEMS)  stabilization  NONLINEAR-SYSTEMS  PARALLEL-PLATE  ACTUATED MEMS  TRAVEL RANGE  DESIGN  SIMULATION   Coupled-field finite element analysis of MEMS compound electrostatic actuator by using the ANSYS software 其他 2012-01-01 Chen, Yinjun; Chen, Qinghua; Li, Yanmei; Wu, Wengang 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/17 Silicon-on-insulator out-of-plane electrostatic actuator with in situ capacitive position sensing 期刊论文 journal of micro nanolithography mems and moems, 2012 Wang, Jiankun; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13 electrostatic actuator  silicon-on-insulator  asymmetrical comb drive  capacitive position sensing  VERTICAL COMB ELECTRODES  CMOS-MEMS  DRIVE  DESIGN  MICROMIRROR  SENSORS   全对称谐振式压力传感器结构设计与仿真分析 期刊论文 2012 江毅文; 杜晓辉; 占瞻; 徐布磊; 吕文龙; 王凌云; 孙道恒 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2016/05/17 谐振式  压力传感器  灵敏度  品质因子  resonant  pressure sensor  sensitivity  quality factor   Design and simulation of fully-symmetrical resonant pressure sensor 其他 2012-01-01 Jiang, Yiwen; Du, Xiaohui; Zhan, Zhan; Xu, Bulei; Lv, Wenlong; Wang, Lingyun; Sun, Daoheng; 王凌云; 孙道恒 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22 Capacitance  Finite element method  MEMS  Stress concentration  Vacuum   MEMS grating with interdigitated-comb structure 会议论文 Key Engineering Materials, 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology XIII, CSMNT 2011, 2012 作者:  Zhang, Heng;  Yao, Jun;  Tao, Fenggang;  Zhuang, Xuye 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/25