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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2012    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140 王辉; 于杰; 周烽; 王丽萍 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/03/11 测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑