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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2012    内容类型：期刊论文    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 大尺寸硅片智能化CMP监控系统研究 期刊论文 金刚石与磨料磨具工程, 2012, 卷号: 32, 页码: 42-45+51 作者:  郭晓光;  张小冀;  郭东明 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/13 智能监控  硅片  化学机械抛光(CMP)  生产效率   基于无线传感网络的智能机房环境监控系统的设计与实现 期刊论文 电子设计工程, 2012, 卷号: 20, 页码: 172-175,178 作者:  许辉;  倪长宝;  曹新 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/13 ZigBee  无线网络  传感器  环境控制  CGI