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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2011    内容类型：专利     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 晶圆检测方法以及晶圆检测装置 专利 申请日期: 2011-09-23, 公开日期: 2012-11-20 作者:  陈鲁 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/11/20 一种集成电路缺陷的光学检测方法和装置 专利 专利号: CN103018202A, 申请日期: 2011-09-22, 公开日期: 2012-11-20, 2013-04-03 作者:  陈鲁 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2012/11/20 晶圆颗粒检测方法 专利 申请日期: 2011-06-16, 公开日期: 2012-11-20 作者:  陈鲁 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/11/20