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科研机构
上海微系统与信息技术... [6]
内容类型
期刊论文 [6]
发表日期
2010 [6]
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共6条,第1-6条
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发表日期:2010
内容类型:期刊论文
专题:上海微系统与信息技术研究所
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基于多分辨率信号分解的低轨通信卫星频谱感知
期刊论文
电子与信息学报, 2010, 期号: 09
马陆
;
李理敏
;
胡泽鑫
;
梁旭文
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS
低功耗
微型加热器
铂
各向异性腐蚀
表面活性剂动态修饰PDMS的研究进展
期刊论文
材料导报, 2010, 期号: S2
季伙燕
;
丛辉
;
王惠民
;
金庆辉
;
赵建龙
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS
硅基集成式定位平台
位移传感器
闭环控制
开环控制
神经元自适应PID控制
微流控芯片电泳分离血清高密度脂蛋白亚类的研究
期刊论文
生物化学与生物物理进展, 2010, 期号: 02
郑慧斐
;
丛辉
;
王惠民
;
金庆辉
;
赵建龙
收藏
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浏览/下载:77/0
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提交时间:2012/01/06
电子技术
MEMS
高量程加速度传感器
阻尼效果
近似叠加理论
Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2010, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 1331-1340
Xu, DH
;
Xiong, B
;
Wang, YL
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2011/12/17
STATE TEMPERATURE DISTRIBUTION
THERMOELECTRIC SENSORS
MICROSENSORS
OPTIMIZATION
PERFORMANCE
MEMS
Quad-cantilever microsensors with a low-cost single-sided micro-machining technique for trace chemical vapor detection
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 卷号: 87, 期号: 11, 页码: 2317-2322
Yang, YL
;
Chen, Y
;
Xu, PC
;
Li, XX
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2011/12/17
PIEZORESISTIVE READ-OUT
SENSOR
MICROCANTILEVERS
TMAH/IPA
MODEL
Quad-cantilever microsensors with a low-cost single-sided micro-machining technique for trace chemical vapor detection
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 卷号: 87, 期号: 11 Pages, 页码: 2317-2322
Yang, YL
;
Chen, Y
;
Xu, PC
;
Li, XX
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2012/05/12
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