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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2009    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于纳米梁位移检测的MOS电容下压阻结构 会议论文 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 成海涛; 杨恒; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2012/01/18 金属氧化物半导体 纳米梁 位移检测 压阻结构