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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 限定条件 发表日期：2003    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 新型高K栅介质ZrO_2薄膜材料的制备及表征 期刊论文 功能材料与器件学报, 2003, 期号: 01 章宁琳; 宋志棠; 沈勤我; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/06 PCR微芯片  MEMS技术  表面处理   超薄顶层硅SOI衬底上高k栅介质ZrO_2的性能 期刊论文 半导体学报, 2003, 期号: 10 章宁琳; 宋志棠; 沈勤我; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/01/06 一维光子带隙结构  微带滤波器   准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究 期刊论文 中国激光, 2003, 期号: 04 章宁琳; 宋志棠; 邢溯; 万青; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/06 微针  药物传输  基因传输  微电子机械系统   半导体激光器后腔面高反射涂层的研究 期刊论文 功能材料与器件学报, 2003, 期号: 03 吴根柱; 齐鸣; 叙安怀; 张永刚; 李爱珍 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/06 DNA芯片  乙型肝炎病毒  基因多态性  杂交   High frequency capacitance-voltage characterization of Al2O3/ZrO2/Al2O3 in fully depleted silicon-on-insulator metal-oxide-semiconductor capacitors 期刊论文 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 25, 页码: 5238-5240 Zhang, NL; Song, ZT; Shen, QW; Wu, YJ; Liu, QB; Lin, CL; Duo, XZ; Zheng, LR; Ding, YF; Zhu, ZQ 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/03/24 ZRO2/SIO2/SI LAYERED STRUCTURE  THERMAL-STABILITY  MOS CAPACITORS  FILM  ZRO2  DIELECTRICS  HFO2   Microstructural and electrical properties of ZrO2 thin films prepared on silicon on insulator with thin top silicon 期刊论文 CHINESE PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 273-276 Zhang, NL; Song, ZT; Shen, QW; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/03/24 FIELD-EFFECT-TRANSISTORS  K GATE DIELECTRICS  THERMAL-STABILITY  RELIABILITY  SI   Memory and negative photoconductivity effects of Ge nanocrystals embedded in ZrO2/Al2O3 gate dielectrics 期刊论文 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 1, 页码: 138-140 Wan, Q; Zhang, NL; Liu, WL; Lin, CL; Wang, TH 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/24 SI NANOCRYSTALS  SEMICONDUCTOR STRUCTURE  ROOM-TEMPERATURE  SILICON  FILMS  SIO2-FILMS  STABILITY  GROWTH  MATRIX   Interfacial stability between zirconium oxide thin films and silicon 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2003, 卷号: 66, 期号: 1-4, 页码: 427-432 Zhang, NL; Song, ZT; Xing, S; Shen, QW; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/03/24 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  THERMAL-STABILITY  ZRO2  SI(100)  GROWTH  SI   体Si和SOI上高k介质材料研究 学位论文 博士, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2003 章宁琳 收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2012/03/06