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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1995 [2]
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发表日期:1995
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Low-temperature silicon direct bonding and interface behaviours
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 1995, 卷号: 50, 期号: 1-2, 页码: 117-120
Jiao, JW
;
Lu, DR
;
Xiong, B
;
Wang, WY
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提交时间:2011/12/17
Low temperature SDB and interface behaviours
期刊论文
MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS - IEEE PROCEEDINGS, 1995, 1995, 页码: 394-397
JIAO,JW
;
LU,D
;
XIONG,B
;
WANG,WY
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提交时间:2011/12/17
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