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共23条，第1-23条
山东师范大学 36 西安理工大学 17 大连理工大学 8
长春光学精密机械与物理研究所 7 武汉大学 5 上海光学精密机械研究所 5
上海微系统与信息技术研究所 4 西安交通大学 3 物理研究所 3
金属研究所 3 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 3 半导体研究所 3
厦门大学 2 北京大学 2 重庆绿色智能技术研究院 2
河南大学 2 西安光学精密机械研究所 2 山东大学 1
辽宁师范大学 1 暨南大学 1 湖南大学 1
合肥物质科学研究院 1 上海硅酸盐研究所 1

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