| 微机电系统应用与发展综述 | |
| 赵联一; 李坤朋; 王晓伟 | |
| 刊名 | 城市建设理论研究（电子版）
 |
| 2012 | |
| 期号 | 28 |
| 关键词 | 微机电系统 微电子学 微机械学 自动控制 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5181335 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.山东大学机械工程学院 2.济南大学机械工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵联一,李坤朋,王晓伟. 微机电系统应用与发展综述[J]. 城市建设理论研究（电子版）,2012(28). |
| APA | 赵联一,李坤朋,&王晓伟.(2012).微机电系统应用与发展综述.城市建设理论研究（电子版）(28). |
| MLA | 赵联一,et al."微机电系统应用与发展综述".城市建设理论研究（电子版） .28(2012). |
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