微机电系统应用与发展综述 | |
赵联一; 李坤朋; 王晓伟 | |
刊名 | 城市建设理论研究(电子版) |
2012 | |
期号 | 28 |
关键词 | 微机电系统 微电子学 微机械学 自动控制 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5181335 |
专题 | 山东大学 |
作者单位 | 1.山东大学机械工程学院 2.济南大学机械工程学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵联一,李坤朋,王晓伟. 微机电系统应用与发展综述[J]. 城市建设理论研究(电子版),2012(28). |
APA | 赵联一,李坤朋,&王晓伟.(2012).微机电系统应用与发展综述.城市建设理论研究(电子版)(28). |
MLA | 赵联一,et al."微机电系统应用与发展综述".城市建设理论研究(电子版) .28(2012). |
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