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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Nano-machined transmission gratings for atom interferometer gyroscope applications 其他 2005-01-01 Xia, L; Wu, XG; Xu, J; Feng, YY; Yan, GZ; Hao, YL; Zhou, ZY 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Hybrid electrostatic actuator for micromirror tilting 其他 2005-01-01 Wu, WG; Chen, QH; Yan, GZ; Hao, YL; Yin, DQ; Chen, ZY; Xu, AS 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 DESIGN CONSIDERATIONS  MIRRORS   A bulk micromachined lateral axis gyroscope with vertical sensing comb capacitors 其他 2005-01-01 Yang, ZC; Wang, CS; Yan, GZ; Hao, YL; Wu, GY 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 gyroscope  vertical comb  bulk micromachined   Electroless copper plating on silicon surface for MEMS 其他 2004-01-01 Li, Y; Li, ZH; Hao, YL; Yan, GZ; Wu, WG; Han, X 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 MEMS  electroless plating  oxygen plasma bombardment   An improved electrostatically-driven micro torsion mirror fabricated by silicon micromachining for optical switching devices 其他 2004-01-01 Chen, QH; Wu, WG; Li, DC; Yan, GZ; Hao, YL 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 micro-mirror  torsion beam  silicon micromachining  optical switches   Torsion-mirror actuators with compound electrostatic driving structures 其他 2004-01-01 Wu, WG; Chen, QH; Han, X; Yan, GZ; Hao, YL 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 MEMS  torsion-mirror  actuator  compound electrostatic driving  mixed silicon micromachining   Design and fabrication of a torsional Z-axis capacitive accelerometer with novel comb capacitor 其他 2004-01-01 Yang, ZC; Yan, GZ; Hao, YL; Wu, GY 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 accelerometer  comb capacitor  bulk micro-machined  SENSORS   A novel type of vertical torsion micro-mirror with combs 其他 2004-01-01 Chen, QH; Wu, WG; Li, DC; Yan, GZ; Hao, YL 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13 micro-mirror  vertical combs  torsion beam  silicon micromachining   Torsion-mirror optical actuators with compound driving structures 其他 2004-01-01 Wu, WG; Chen, QH; Yan, GZ; Hao, YL 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 MEMS  torsion-mirror actuator  compound driving  mixed silicon micromachining  optical coupling loss   Fabrication and characterization of torsion-mirror actuators for optical networking applications 其他 2003-01-01 Wu, WG; Li, DC; Sun, W; Hao, YL; Yan, GZ; Jin, SJ 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS  torsion-mirror actuators  fiber holding structures  mixed micromachining  surface roughness  light scattering and reflection