QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2023     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Scheduling a Single-Arm Multi-Cluster Tool With a Condition-Based Cleaning Operation 期刊论文 IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 1965-1983 作者:  Qinghua Zhu;  Hongpeng Li;  Cong Wang;  Yan Hou 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2023/09/07 Chamber cleaning  multi-cluster tools  scheduling  semiconductor manufacturing   Scheduling Dual-Arm Multi-Cluster Tools With Regulation of Post-Processing Time 期刊论文 IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 8, 页码: 1730-1742 作者:  Qinghua Zhu;  Bin Li;  Yan Hou;  Hongpeng Li;  Naiqi Wu 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2023/07/20 Cluster tool  optimization  scheduling