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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Investigations of Silicon Wafer Bonding Using Thin Al and Sn Films for Heterogeneous Integration 其他 2013-01-01 Zhu, Zhiyuan; Wang, Shaonan; Xu, Yichao; Wang, Guanjiang; Pi, Yudan; Wang, Peiquan; Zhu, Yunhui; Sun, Xin; Yu, Min; Chen, Jing; Miao, Min; Jin, Yufeng 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 Wafer bonding  heterogeneous integration  Al  Sn  MEMS  DEVICES   Low temperature Al based wafer bonding using Sn as intermediate layer 其他 2012-01-01 Zhu, Zhiyuan; Yu, Min; Zhu, Yingwei; Wang, Peiquan; Liu, Chenchen; Wang, Wei; Miao, Min; Chen, Jing; Jin, Yufeng 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/16