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具有复合埋层的新型SIMON材料的制备 期刊论文
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 814-818
易万兵; 陈猛; 张恩霞; 刘相华; 陈静; 董业民; 金波; 刘忠立; 王曦
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