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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位    发表日期：2019     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer 期刊论文 Micromachines, 2019, 卷号: 10, 期号: 9, 页码: 589 作者:  Jian Yang;   Meng Zhang;   Yurong He;   Yan Su ;   Guowei Han ;   Chaowei Si ;   Jin Ning;   Fuhua Yang ;   Xiaodong Wang 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2020/08/05 Research on a 3D Encapsulation Technique for Capacitive MEMS Sensors Based on Through Silicon Via 期刊论文 Sensors, 2019, 卷号: 19, 页码: 93 作者:  Meng Zhang;   Jian Yang ;   Yurong He ;   Fan Yang ;   Fuhua Yang ;   Guowei Han ;   Chaowei Si;   Jin Ning 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2020/08/05 Research on the Protrusions Near Silicon-Glass Interface during Cavity Fabrication 期刊论文 Micromachines, 2019, 卷号: 10, 页码: 420 作者:  Meng Zhang;  Jian Yang;  Yurong He;  Fan Yang;  Yongmei Zhao;  Fen Xue;  Guowei Han;  Chaowei Si;  Jin Ning 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2020/08/05