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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2001     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于大面积周期性图形制造的激光干涉光刻 期刊论文 光电工程, 2001, 卷号: 第6期, 页码: P20-24 作者:  张锦;  冯伯儒;  郭永康;  蒋世磊;  宗德蓉 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/02/28 干涉光刻　　激光干涉　　计算机模拟