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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Aberrations - Interferometers - Optical data processing - Optical testing - Optical variables measurement - Phase shift - Polarization - Semiconductor device manufacture - Shearing - Units of measurement - Wavefronts     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 The impact of polarization on metrology performance of the lateral shearing interferometer 会议论文 Proceedings of SPIE: Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VIII, 2013 作者:  Zhengpeng, Yao;  Tingwen, Xing 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/23