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科研机构
上海微系统与信息技术... [9]
内容类型
期刊论文 [8]
学位论文 [1]
发表日期
2006 [1]
2005 [1]
2003 [1]
2002 [3]
1999 [2]
1995 [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Study of HfSiO film prepared by electron beam evaporation for high-k gate dielectric applications
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2006, 卷号: 252, 期号: 23, 页码: 8073-8076
Cheng, XH
;
Song, ZR
;
Jiang, J
;
Yu, YH
;
Yang, WW
;
Shen, DS
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/24
ATOMIC-LAYER DEPOSITION
THERMAL-STABILITY
SI(100)
OXIDE
HFO2
Characteristics of sandwich-structured Al2O3/HfO2/Al2O3 gate dielectric films on ultra-thin silicon-on-insulator substrates
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2005, 卷号: 252, 期号: 5, 页码: 1876-1882
Cheng, XH
;
Song, ZR
;
Jiang, J
;
Yu, YH
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/24
ATOMIC LAYER DEPOSITION
CAPACITORS
AL2O3
SI
Structure character in small-carbon-cluster deposition on diamond surface
期刊论文
EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL D, 2003, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 369-373
Li, ZJ
;
Pan, ZY
;
Wei, Q
;
Du, AJ
;
Huang, Z
;
Zhang, ZX
;
Ye, XS
;
Bai, T
;
Wang, C
;
Liu, JR
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
MOLECULAR-DYNAMICS
VAPOR-DEPOSITION
FILMS
Interfacial and microstructural properties of zirconium oxide thin films prepared directly on silicon
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2002, 卷号: 202, 期号: 1-2, 页码: 126-130
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Wan, Q
;
Shen, QW
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THERMAL-STABILITY
ZRO2
SI(100)
Thermochemical process occurring in PLD-derived SiC films during vacuum annealing
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2002, 卷号: 193, 期号: 1-4, 页码: 204-209
Wang, YX
;
He, HP
;
Wang, LW
;
Liu, D
;
Tang, HG
收藏
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
SILICON-CARBIDE
LASER DEPOSITION
THIN-FILMS
OXIDATION
SUBSTRATE
INTERFACE
GROWTH
TEMPERATURE
Surface modification of polytetrafluoroethylene by nitrogen ion implantation
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2002, 卷号: 185, 期号: 3-4, 页码: 255-261
Zhang, JH
;
Yu, XJ
;
Li, HD
;
Liu, XH
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/03/24
ATOMIC OXYGEN
POLYMERS
ADHESION
BEAM
IRRADIATION
PLASMA
FILMS
Molecular dynamics simulation of C2H2 deposition on diamond (001)-(2x1) surface
期刊论文
EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL D, 1999, 卷号: 5, 期号: 1, 页码: 83-88
Zhu, WJ
;
Pan, ZY
;
Ho, YK
;
Man, ZY
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/25
CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION
GROWTH-MECHANISM
PLASMA
PRESSURE
METHYL
ENERGY
CVD
Preparation and characterization of MgO thin films by a simple nebulized spray pyrolysis technique
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 1999, 卷号: 148, 期号: 3-4, 页码: 223-228
Fu, XR
;
Wu, GM
;
Song, SG
;
Song, ZT
;
Duo, XZ
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/25
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
MICROSTRUCTURAL CHARACTERIZATION
ORIENTED PBTIO3
BUFFER LAYERS
GROWTH
SI(100)
GAAS
MOCVD GaInP材料制备中新源TBP的物理化学及应用
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 1995
毕戈雄
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/03/06
MOCVD
GaInP材料
制备
新源TBP
物理化学
应用
Ga<
0.51>
In<
0.50>
P外延层
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