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绝地传感器芯片 成果
鉴定: 无, 2010
未知
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基于MEMS的高效细胞电融合系统 成果
2009
-
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/11/30
微型惯性传感器 成果
鉴定: 无, 2009
焦继伟等
收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2013/04/12
一种微小部件机械联接或紧固方法 成果
2008
中国科学院金属研究所
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/07/24
自呼吸式微型质子交换膜燃料电池的阴极流场板及制作方法 成果
鉴定: 无, 2008
夏保佳; 郑丹; 张熙贵
收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/04/12
MEMS高G量程加速度传感器 成果
鉴定: 无, 2008
未知
收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2013/04/12
微系统若干前沿技术研究 成果
鉴定: 无, 2008
封松林
收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2013/04/12
一种圆片级微机械器件和光电器件的低温气密性封装方法 成果
鉴定: 无, 2008
刘玉菲; 吴亚明; 李四华
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/12
用于MEMS微机械加工的多层绝缘体上的硅材料及方法 成果
鉴定: 无, 2008
未知
收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2013/04/12
基于MEMS的消化道诊疗系统 成果
2007
-
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/30

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