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科研机构
上海光学精密机械研究... [5]
内容类型
学位论文 [3]
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2014 [3]
2006 [1]
学科主题
激光器;固体激光器 [1]
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专题:上海光学精密机械研究所
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飞秒激光与透明材料相互作用若干新现象研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
翟凯旋
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2016/11/28
超快激光
激光微加工
纳米光栅
空气激光
分子隧穿电离
基于达曼光栅的并行激光直写光刻机研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
朱锋
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浏览/下载:139/0
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提交时间:2016/11/28
激光并行直写
自动聚焦
达曼光栅
微纳加工
误差分析与校正
高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
宋强
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浏览/下载:216/0
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提交时间:2016/11/28
光学光刻
光瞳整形
光刻仿真
衍射光学元件
轴锥镜
光学检测
用于大口径微透镜阵列匀光性能的子孔径拼接检测方法
会议论文
作者:
张方
;
朱菁
;
杨宝喜
;
胡小邦
;
王健
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2016/11/28
输出5W的电光调Q Nd:YAG陶瓷激光器
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 157, 160
纪江华
;
漆云凤
;
孟俊清
;
楼祺洪
;
朱小磊
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浏览/下载:1345/194
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提交时间:2009/09/18
激光器
Nd:YAG陶瓷
电光调Q
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