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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 音圈电机变形镜控制系统设计 学位论文 北京: 中国科学院大学, 2023 作者:  乔伟康 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2023/08/05 音圈电机变形镜  并行控制  系统辨识  模糊PID算法  查表法   阵列激光合束系统关键技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  程雪 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2020/08/24 阵列激光合束  光纤定位器  倾斜控制  相位控制   压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  李朋志 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿   基于时滞与模糊滑模的风洞模型振动控制研究 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者:  张家昆 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02 振动控制  压电陶瓷促动器  风洞试验  时滞  模糊滑模控制   南极低温条件下镜面支撑技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院大学, 2014 韩晓龙 收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2014/06/22 力促动器  镜面支撑  低温环境  压电陶瓷材料