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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2016     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究 期刊论文 传感技术学报, 2016 张义川; 缪旻; 方孺牛; 唐小平; 卢会湘; 严英占; 金玉丰 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03 低温共烧陶瓷  加速度计  微机械加工  三维集成  微系统  accelerometer  ceramic micromachining  three-dimensional integration  microsystem