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| 电容式微陀螺专用集成接口电路研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009
李金鹏
  收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于MEMS的光纤加速度计的研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
曾凡林
收藏 | 浏览/下载：173/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 自呼吸式硅微机械微质子交换膜燃料电池关键技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
郑丹
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于MEMS技术的光纤声传感器研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007
许晓昕
收藏 | 浏览/下载：33/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 硅微机械加速度开关技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007
贾孟军
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 免疫磁珠微流控分析系统的构建和应用研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007
王聿佶
收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
许晓昕
收藏 | 浏览/下载：46/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2006
王彬
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 一种压阻式微机械陀螺的研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005
陈雪萌
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造技术 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005
郭南翔
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2012/03/06
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