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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    发表日期：2007     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 低张力振动膜硅微电容传声器的研究 学位论文 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2007 张晓辉 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2011/05/07 MEMS  硅微电容传声器  降低张力   基于MEMS技术的光纤声传感器研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 许晓昕   收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 声传感器  光纤传感  MEMS  Pyrex7740深刻蚀  F-P腔  衍射光栅     硅微机械加速度开关技术研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 贾孟军   收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS  惯性-静电耦合原理  冲击加速度开关  阈值可调  自锁     免疫磁珠微流控分析系统的构建和应用研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 王聿佶   收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS  微流体  磁珠  高梯度磁场  单芯片