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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：电子学研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 电容式微加速度计检测电路研究 学位论文 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006 杨苗苗 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2011/07/19 微电子机械系统  电容式加速度计  扭摆  梳齿  开关式检测电路   电容式微加速度计检测电路研究 学位论文 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006 杨苗苗 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2011/07/19 微电子机械系统  电容式加速度计  扭摆  梳齿  开关式检测电路   微机械谐振梁压力传感器研究 学位论文 博士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 陈德勇 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2011/07/19 谐振式压力传感器  微电子机械  低应力氮化硅谐振梁  电热激励  半岛结构   微机械谐振梁压力传感器研究 学位论文 博士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 陈德勇 收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2011/07/19 谐振式压力传感器  微电子机械  低应力氮化硅谐振梁  电热激励  半岛结构