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金属有机化学气相沉积薄膜制备中传热传质的数值模拟 期刊论文
上海大学学报(自然科学版), 2015, 卷号: 21, 页码: 732-741
作者:  蔡茜茜[1];  雷知迪[2];  丁珏[3];  翁培奋[4]
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